浙江奥首材料科技有限公司(简称“浙江奥首”)成立于2014年7月23日,其前身为常州奥首新材料有限公司,法定代表人侯军,注册资本59259232元,注册地址为浙江省衢州市杜鹃路36号。公司致力于半导体材料和航空航天精密化学品的研发、生产与销售,经过近几年的发展,在半导体和航空航天等多个领域取得了突破,并开发出40余种具有自主知识产权的产品,在芯片去光阻液、研磨液、蚀刻液、划片液、清洗液等方面打破国外多项垄断。公司现有员工62人,配备了2名专职安全管理人员。
公司基于衢州拥有中国电子化学材料产业园,配套产业链齐全,在研发、生产、销售高端电子化学品方面有得天独厚的优势,故将总部(常州奥首新材料有限公司)迁址至衢州,在衢州智造新城成立浙江奥首材料科技有限公司,整体规划年产11.8万吨集成电路功能精细化学品项目生产基地。
项目于2020年10月14日取得衢州市智造新城衢州智造新城管理委员会核发的《浙江省企业投资项目备案(赋码)信息表》,项目代码:2020-330851-26-03-171701。
由于市场原因,项目分期实施,一期建设3.6万吨。2021年4月22日,由浙江科健安全卫生咨询有限公司出具了《浙江奥首材料科技有限公司年产11.8万吨集成电路功能精细化学品项目(一期3.6万吨)安全评价报告》,通过安全条件审查后于2021年4月29日取得了衢州市应急管理局核发的《危险化学品建设项目安全审查意见书》(衢应急管理危化项目安条审字[2021]22号);在2021年7月11日,由常州化工设计院有限公司出具了《浙江奥首材料科技有限公司年产11.8万吨集成电路功能精细化学品项目(一期3.6万吨)安全设施设计专篇》,通过安全设施设计审查后于2021年8月16日取得了衢州市应急管理局核发的《危险化学品建设项目安全设施设计审查意见书》(衢危化项目安设审字[2021]32号)。
由于项目前期无法预估市场需求量的原因,为探索市场需求量,项目分期分阶段实施,本次验收仅涉及安全设施设计专篇年产11.8万吨集成电路功能精细化学品项目的一期3.6万吨一阶段(简称“本项目”),产能为7440吨,建设内容包括办公楼、生产厂房、仓库(含危化品仓库)、罐区等,购置混配罐、上料柜、自动包装机等先进设备,涉及的产品包括去光阻液系列、蚀刻液系列共2个系列的集成电路功能精细化学品。目前,罐区仅安装了部分储罐(主要为二甲基亚砜、N-甲基吡咯烷酮、丙二醇甲醚醋酸酯、丙二醇单甲醚、N-甲基甲酰胺、二丙二醇单甲醚、乙醇胺、剥离液回收液、去光阻液回收液共9种物料储罐),车间一、车间二仅安装了本项目涉及的混配罐,其中车间一共安装混配罐10只,车间二共安装14只混配罐。
项目由常州化工设计院有限公司进行安全设施设计,土建工程由衢州金宏建设工程有限公司承建,车间一、车间二洁净工程由江苏百科建筑工程有限公司负责,设备安装由湖南省工业设备安装有限公司负责,自控系统的安装及调试由浙江中控技术股份有限公司负责,工程监理由浙江华建工程管理有限公司负责。本项目于2022年6月18日开始试生产,试生产期间生产装置基本达到设计要求。
本项目涉及的产品去膜剂(序号1667)、边胶洗涤液(序号2828)、铜蚀刻液(序号903过氧化氢溶液)、钛蚀刻液A(序号903过氧化氢溶液)、铝钼蚀刻液(序号2630乙酸)、硅蚀刻液(序号1650氢氟酸)、ITO蚀刻液(序号1850三氯化铁及其溶液)、酸蚀刻液(序号1650氢氟酸)、金属蚀刻液(钼蚀刻液(序号2630乙酸)、镍蚀刻液(序号903过氧化氢溶液)、钨蚀刻液(序号1650氢氟酸)、锡蚀刻液(序号2630乙酸)、银蚀刻液(序号2630乙酸))列入《危险化学品目录》(2015年版)中,因此本项目属于危险化学品生产项目。
办公楼 生产车间内