杭州合盛微电子有限公司成立于2022年9月,是一家专业从事新型材料碳化硅研究、生产以及器件制造的高新技术企业。公司注册资本5亿元,由宁波合盛新材料有限公司100%控股,业务涵盖第三代半导体的研发与生产,高密高纯特种石墨、多孔石墨的研发与生产。
杭州合盛微电子有限公司半导体分立器件制造项目,计划总投资70亿元,建设地址位于杭州市萧山区经济技术开发区,建设内容包括生产设施及辅助生产设施、动力设施、环保设施、安全设施、消防设施及相应建构筑物,主要生产设施及辅助生产设施为40万片/年的FAB1(6寸一期)车间、外延车间、动力站1、仓库1、生产大楼、综合楼、氢气站、硅烷站、大宗气体站、液氮罐区、变电站、废水站和甲、乙类仓库等组成。
本项目生产的产品未列入《危险化学品目录》(2015版),生产过程中涉及到使用危险化学品乙醇、过氧化氢溶液、氢氟酸、硫酸、盐酸、氨溶液[含氨>10%]、氩[压缩的和液化的]、氢气、乙烯、氯化氢[无水]、氮[压缩的或液化的]、三氯硅烷、四氟甲烷、甲硅烷、乙硼烷、氨气、氟化铵、三氟化硼、磷烷/氮气混合气中的磷化氢、三氯化硼、三氟甲烷、氯气、二氧化碳[液化的]、氦[压缩的]、一氧化二氮[压缩的]、氧[压缩的和液化的]、六氟化硫、丙烯、硅酸四乙酯、六甲基二硅烷胺、1,2-二氯乙烯、八氟环丁烷、六氟乙烷、三氟化氮、三氟化磷、氢氧化钠、天然气、柴油、聚酰亚胺、丙二醇单甲醚乙酸酯、乙二胺、甲醇、二氯硅烷、氙[压缩的]、磷酸、一氧化氮、二氧化氮、溴化氢、1,1-二氯乙烷、甲烷、二氟甲烷、四氯化碳、四溴化碳、砷化氢、丙酮、硝酸、氢氧化钾和异丙醇,故本项目为危险化学品使用项目。
项目负责人照片 项目组成员照片
现场照片一 现场照片二